مقاومة صفح Gpo3

تمت دراسة طريقة وخصائص حقن 21 0 0 كيلو فولت من الفاناديوم عالي الطاقة في الطبقة شبه العازلة من صفائح gpo3. تمت محاكاة توزيع تركيز الطبقة المحقونة بواسطة أداة تحليل برنامج مونت كارلو باستخدام بنية ميسا لـ gpo3 ، ووجد أن مقاومة طبقة الفاناديوم المزروعة ترتبط ارتباطًا وثيقًا بنوع التوصيل الأولي لطبقة gpo3 في درجة حرارة الغرفة ، المقاومة من الفاناديوم من النوع p و n-type 4H SiC هو 1.6 ، على التوالي × 10 ^ 10 و 7.6 × 10 ^ 6 · cm يتم قياس المقاومة عند درجات حرارة التلدين المختلفة. وجد أن التلدين بدرجة حرارة عالية يساعد على تنشيط استبدال الفاناديوم ويزيد من المقاومة. نظرًا لتأثير انتشار الفاناديوم ، تقل المقاومة بشكل طفيف بعد التلدين عند 1700 درجة. تم قياس مقاومة طبقة الفاناديوم المزروعة من نوع SiC عند 20 ~ 140 درجة. تم حساب طاقة التنشيط لمستوى متقبل الفاناديوم في 4H SiC لتكون 0.78ev